什么是EUV光刻机？我们能搞出EUV光刻机吗？10分钟了解EUV光刻机的技术难点【芯片系列第四期】

2023-6-12 0:00

[视频作者] 新石器公园

[视频时长] 16:48

[视频类型] 科学科普

制造EUV光刻机有多难？要产生EUV光源有几种方式？同步辐射光源、自由电子激光、放电产生等离子体和激光产生等离子体 EUV光刻机的技术难点在哪里？光源、反射镜、光掩模技术

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