微纳器件与集成电路工艺6-光刻

[视频作者] LZ的小迷弟i

[视频时长] 32:51

[视频类型] 校园学习

一.光刻基本描述和过程 二.光刻胶 三.光刻机 四.光刻中的几个参数 五.光刻工艺及其步骤 六.新技术简介 七.光刻总结