微纳器件与集成电路工艺4-离子注入

一.离子注入概述 二.离子注入优/缺点 三.离子注入原理 四.沟道效应；预防措施 五.注入损伤 六.退火 七.区别热扩散与离子注入 八.离子注入设备/工艺/方法 异质集成电路需要离子注入吗 离子注入柔性电子器件 集成电路制造工艺中离子注入用途 半导体器件制作中离子注入的作用 离子注入工艺对pmos器件影响 集成电路制造工艺离子注入技术 集成电路掺杂和离子注入区别 功率器件的离子注入设备 芯片离子注入时机 离子注入在集成电路上的应用 微纳器件与集成电路工艺4-离子注入