微纳器件与集成电路工艺4-离子注入

[视频作者] LZ的小迷弟i

[视频时长] 17:18

[视频类型] 校园学习

一.离子注入概述 二.离子注入优/缺点 三.离子注入原理 四.沟道效应；预防措施 五.注入损伤 六.退火 七.区别热扩散与离子注入 八.离子注入设备/工艺/方法