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微纳器件与集成电路工艺4-离子注入

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2022-10-14 21:50
[视频作者] LZ的小迷弟i
[视频时长] 17:18
[视频类型] 校园学习
一.离子注入概述 二.离子注入优/缺点 三.离子注入原理 四.沟道效应;预防措施 五.注入损伤 六.退火 七.区别热扩散与离子注入 八.离子注入设备/工艺/方法
[图]微纳器件与集成电路工艺4-离子注入
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