国产半导体-光刻掩模版AOI外观缺陷检测设备-维普光电VPTEK

[视频作者] bili_63496351557

[视频时长] 2:56

[视频类型] 科学科普

江苏维普光电是国产半导体掩膜板AOI自动光学检测设备制造商，设备可用于无图形石英基板缺陷检测：针孔/颗粒/划伤，图形板：多图/少图/偏移/CD偏差，可替代KLA, Lasertec等外资品牌产品，目前设备已经在国内主流光罩厂商处使用。